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龙8国际官网娱乐压力传感器芯片SCA2095原理及MEMS硅压阻式

2024-04-30 03:42:50来源:龙8国际官网注册 作者:龙8国际官网唯一入口

  随着信息处理技术的不断提高,的研制与生产工艺的稳定性和可靠性也发生了革新,这在一定程度上推动了其应用发展(应用)。那么,对于的知识,我们又了解多少呢?小编通过搜集整理资料,对有关压力传感器

  从材料上讲,压力传感器芯片可以分为:单晶硅的、多晶硅的、陶瓷的、水晶的、金属的、聚酰亚胺的等等;

  从原理上讲,压力传感器芯片可以分为:应变式、压阻式、电容式、谐振式等(体重计上一般用的是应变片,应变片一般多为应变式或压阻式)。

  压力传感器芯片SCA2095是应用于利用压阻效应,采用全桥设计的传感器(例如压力传感器、应力计、加速度计等)的信号调节电路集成的芯片。

  SCA2095采用EEPROM进行校准、温度补偿,并具有传感器输出保护和诊断的功能。还能够更好调节增益和传感器电桥偏移,能修正灵敏度误差。

  SCA2095芯片的外部数字接口采用三线制,即串行时钟SCLK、数据输出DO、数据输入DI。通过CPU的操作,设置零位偏移寄存器、温度寄存器、零点温度补偿寄存器、输出基准寄存器、增益温度补偿寄存器等。这些寄存器中的值通过D/A转换器变成模拟量叠加在调理电路中,从而改善了传感器特性。

  MEMS硅压阻式压力传感器芯片采用周边固定的圆形的应力硅薄膜内壁,采用MEMS技术直接将四个高精密半导体应变片刻制在其表面应力最大处,组成惠斯顿测量电桥,作为力电变换测量电路的,将压力这个物理量直接变换成电量,其测量精度能达0.01-0.03%FS。硅压阻式压力传感器结构如图所示,


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